技术参数 型号:RP-611.30 名称:XYZ压电陶位移台 特征: ◆ 行程达120 微米×120 微米×120 微米 ◆ 体积:长:44 毫米 ×宽:44 毫米 ×高: 44 毫米 ◆ 单步分辨率达0.2纳米 ◆ 快速响应 ◆ 零间隙,高精度柔性铰链导向系统 ◆ 叠层型压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 ◆ 性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。 ◆ 可真空使用
三轴压电位移台尺寸参数
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