三维高速倾斜台三点支撑
三维平台四点支撑
四脚开环快反镜
一维倾斜台一点支撑
主要应用:
◆ 微型机械制造、超精密加工
◆ 集成电路制造、生物工程
◆ 医疗科学
◆ 光学微处理系统,光纤对接
◆ 航空航天领域
◆ 扫描探针显微镜
压电陶瓷的特点:n 容性负载,驱动电压在0到150Vn 工作温度在-20℃~120℃,n 输出位移小,输出力大n 响应速度右在微秒级n 驱动要求直流稳压电源n 根据驱动的方式不同可输出直线位移,也可以作为震荡源使用
主要应用:n 微型机械制造、超精密加工n 集成电路制造、生物工程n 医疗科学n 光学微处理系统,光纤对接n 航空航天领域n 扫描探针显微镜如有特殊温度要求请与我们联系
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