三维高速倾斜台三点支撑
三维平台四点支撑
四脚开环快反镜
一维倾斜台一点支撑
压电陶瓷的特点:
◆ 容性负载,驱动电压在0到150V
◆ 工作温度在-20℃~120℃
◆ 输出位移小,输出力大
◆ 响应速度右在微秒级
◆ 驱动要求直流稳压电源
◆ 根据驱动的方式不同可输出直线
位移,也可以作为震荡源使用
主要应用:◆ 微型机械制造、超精密加工◆ 集成电路制造、生物工程◆ 医疗科学◆ 光学微处理系统,光纤对接◆ 航空航天领域◆ 扫描探针显微镜如有特殊温度要求请与我们联系
参 数
型号
外形尺寸
A×B×L
[mm]
标称位移Lμ
[um@150V]
无位移推力/******推力
[N@150V]
刚
度
[N/um]
压电陶瓷 响应频率
f 0 [kHz]
静电容量
[nF]
(±20%)
pst150/2×3/5
2×3×5
6.5/5
300
45
150
70
pst150/2×3/7
2×3×9
13/9
25
100
170
pst150/2×3/20
2×3×18
28/20
12
50
340
pst150/3.5×3.5/7
3.5×3.5×9
800
350
pst150/3.5×3.5/20
3.5×3.5×18
pst150/5×5/7
5×5×9
2000/1600
120
pst150/5×5/20
5×5×18
60
1800
pst150/7×7/7
7×7×9
4000/3500
240
pst150/7×7/20
7×7×18
3600
pst150/10×10/7
10×10×9
8000/7000
500
pst150/10×10/20
10×10×18
250
7200
pst150/14×14/20
14×14×18
16000/11500
47
14500
最多2个文件,每个10M以内