• 高速响应; • 压电陶瓷驱动; • 较高的重复定位精度; • 纳米级位移分辨率; • 机体材料分铝合金和钛合金; • 具有开环和闭环两种; • 采用数控、线切割等加工工艺，严格

 保证构结精度; ，采用计算机有限元仿真

 分析等现代设计方法设计微动结构 ; • 采用先进的表面处理工艺，提高了适应不同工作环境的能力。