叠堆压电陶瓷
压电陶瓷的特点:
工作温度在-20℃~120℃;输出位移小,输出力大;响应速度在微秒级;驱动要求直流稳压电源;根据驱动的方式不同可输出直线位移,也可以作为震荡源使用。
主要应用:
微型机械制造、超精密加工、集成电路制造、生物工程、医疗科学、光学微处理系统,光纤对接、航空航天领域、扫描探针显微镜