压电陶瓷偏摆台

三脚架驱动倾斜式系统的环动平台面由三支压电致动器驱动，以120° ⻆平分到另一个驱动位置，采用坐标变换，运动可以分不同机构之间的。 除了倾斜的平台，也可以使用线性 2 方向，这是很重要的，例如，用于校正的光学路径⻓度 四脚差分压电驱动的倾斜系统平台由两对压电致动器位于90° ⻆到另一个驱动位置，四执行机构都是成对的差异控制，根据不同的倾斜方向。 轴倾斜。× 和。丫正交布置使坐标变换是没有必要的。这一结论在线性和⻆度定位具有很好的稳定范围。 倾斜⻆控制系统的最大工作频率在很大程度上取决于它的机械 响应频率与功率放大器的性能，控制器和传感器也很重要。系统的组合由倾斜 ⻆ 平台面和镜，需要计算反射镜基板的第一谐振频率的有效惯 性矩。